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半导体材料 semiconductor materials

以高纯度电子化学分析为基础,提供半导体和泛半导体高纯化学分析检测服务及相关的解决方案。同时致力于各种高纯化学品、高纯材料和高纯特气杂质分析方法的不断开发和创新,以及硅片、化合物晶圆污染物分析方法的不断开发和创新等。

核心竞争力

1.快速响应与交付能力、数据追溯与合规性

2.丰富的测试经验,为千余家上市公司及中小企业提供测试分析服务,积累了丰富的操作经验,能够提供技术、产品、以及测试管理等定制化服务方案

服务或技术上的亮点

1.高级别无尘室环境,高规格测试仪器:实验室具有符合芯片生产的高级别无尘室环境(ISO class 4),技术能力完全为先进制程量身定制;搭配国际品牌高端规格型号的测试仪器,具备优异的痕量污染物检出能力,为产业升级定制。

2.业务执行快捷高效,助力企业降低风险,简化流程,提高营运可持续性。

业务介绍

1.半导体用超纯水水质检测

2.半导体高纯液体化学品检测

3.半导体零部件洁净度(Particles Clean)检测

4.晶圆表面金属污染物分析

5.空气分子污染物分析(AMC-非颗粒污染物)

6.高纯电子级气体测试

7.特气管道五项检测

细分如下
半导体用超纯水水质检测
半导体高纯液体化学品检测
管道气体测试
晶圆表面金属污染物分析
半导体材料测试
空气分子污染(AMC)控制(SEMI F21)
电子特气

1.金属杂质元素分析(0.1ppb—0.001ppb)

2.阴/阳离子分析(0.01ppb)

3.总有机碳(TOC)分析(0.01ppb)

4.颗粒物(Partical)分析(0.05um,0.1um,0.15um,0.2μm,0.5um,1.0μm)

5.在线TOC分析(0.01ppb)

6.细菌总数分析

7.电阻率现场测定

8.硅化合物分析

产品类别 测试产品
湿电子化学品 酸碱类:高纯盐酸、高纯硫酸、高纯硝酸、高纯氢氟酸、高纯水乙酸、电子级氨水、电子级过氧化氢、电子级磷酸、氢氧化钾溶液、氢氧化钠溶液、草酸等
蚀刻类:铝腐蚀刻液、铬腐蚀刻液、镍腐蚀刻液、硅腐蚀刻液、金蚀刻液、铜蚀刻液、显影液、剥离液、清洗液、ITO蚀刻液、缓释剂、BOE 等
溶剂类:甲醇、乙醇、异丙醇、丙酮、四甲基氢氧化铵、甲苯、二甲苯、三氯乙烯、环己烷、N-甲基吡咯烷酮、丙二醇单甲醚、丙二醇单甲醚醋酸酯等
光刻胶及配套试剂 光刻胶、负胶显影液、负胶清洗液、负胶显影漂洗液、正胶显影液、正胶稀释剂、边胶清洗剂、负胶剥离液、正胶剥离液等
电子元器件化学品 硝酸钡、硫酸钡、硝酸钯、硝酸镍、溴化钙、重铬酸铵、二硫化钼、氯化镍、三氯化铁、磷酸三铵、硝酸银、硅酸钾钠、氮化铝、硫酸镁、硝酸铜、硝酸铌、氟化氢铵、硝酸钡、氧化铕、氟化镁、碳酸钇、氧化镓、氧化钼、三甲基铝等
印刷电子化学品 印刷线路板材料及配套化学品、电子油墨、丝网印刷材料等
OLED 材料 空穴传输材料、空穴注入材料、电子传输材料、空穴阻挡材料、电子阻挡材料、荧光主体材料、磷光主体材料、红光掺杂材料、绿光掺杂材料、蓝光掺杂材料、有机电子材料
电子胶类 SMT 贴片红胶、LED 贴片硅胶、UV 胶、导电银胶、硅胶等
靶材 氧化铟锡靶材、高纯铝及铝合金溅射靶材、金属靶材、铬靶合金(CrMo)靶材、钼钛合金(MoTi)靶材、铬靶材、铜铬合金靶材、钼靶材、钯靶材、镍铬靶材、靶材等
其他电子材料 CMP 抛光材料、导电聚合物、液晶聚合物、聚酯薄膜、抗静电材料、抗蚀剂、封装材料、LED/OLED 材料、发光材料、光学薄膜、平板显示薄膜、TFT-LCD 面板及模组构成材料、电子纸、太阳能电池膜等
封装材料 引线框架、封装基板、锡合金丝、键合银丝等
  • 压缩空气检测(ISO 8573)颗粒物,水分,油分现场测试
  • 氦检漏
  • 保压测试
  • 金属元素测试
  • 有机污染物测试
  • 杂质气体分分析
  • 硅材料测试
    • 硅料纯度分析(ICP/MS法或GD-MS法)
    • 硅料微量碳,氧元素分析
    • 硅材料金属杂质分析
  • 硅片检测 / 晶圆表面污染分析
    • 晶圆表面金属离子分析(VPD-ICP-MS/MS)
    • 晶圆表面粗糙度分析
    • 晶圆有机污染物分析
  • 晶圆盒(FOUPs)洁净度评估测试
    • 晶圆盒(FOUPs)有机杂质
    • 晶圆盒(FOUPs)金属离子污染
    • 晶圆盒(FOUPs)阴离子污染
  • 半导体材质溶出试验(SEMI F57)
    • 阀门,管件洁净度评估
    • 半导体工艺管道洁净度评估
    • 过滤材料洁净度评估
    • 流量计洁净度评估
  • 洁净室耗材测试服务

    无尘服/无尘鞋/口罩/鞋套/手套/手指套/包装材料

    • 不挥发残留物测试
    • 金属离子污染测试
    • 微粒子测试
  • 半导体设备检测

    在洁净室内的机械手臂、自动搬运车、线性滑轨、模块自动夹爪会与产品近距离接触,这些自动化设备产生的微尘粒子就会直接影响产品的良率。英格尔提供对进入洁净室的各类机具设备进行其发尘量的等级评估服务。

    • 设备动态颗粒度测试(ISO 14644-14)。
    • 机台与部件洁净度 / 清洗确认。

电子特气是纯度高于99.99%的电子级气体,属于电子化学品领域核心材料。在半导体产业链中被称为"粮食"和"源",直接影响集成电路性能。随着微电子技术向高集成度发展,对气体净化技术提出更高要求,需持续提升杂质控制水平。主要应用于半导体制造中的薄膜沉积、刻蚀、掺杂等关键工艺环节。

1.气体纯度测试

2.杂质成分测试

3.金属离子测试